Sistema de pulverização por magnetron

VON ARDENNE VISS 300

Oferecemos uma unidade de deposição por sputtering vertical usada, modelo ARDENNE VISS 300.

A unidade foi fabricada em 2002 e expandida em 2016 com uma terceira câmara.

A unidade possui um sistema de câmara de vácuo e as 3 câmaras com unidades de sputtering de magnetrão SSM750RF da Ardenne.

Inclui 1 gerador da Trumpf Hüttinger, modelo PFG2500RF.

Existe ainda uma fonte de sputtering de duplo magnetrão, atualmente não instalada, juntamente com o seu sistema de controlo da Astral.

Existe um dispositivo de controlo de temperatura para um dos dois circuitos de refrigeração, para manter uma temperatura constante, por exemplo, de 38°C, bem como 2 unidades de refrigeração externas com permutadores de calor.

Nas câmaras, foram depositados óxido de zinco (ZnO) e sulfeto de zinco (ZnS).
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A unidade foi utilizada até ao final de maio de 2026 e foi desligada sem apresentar avarias.

A unidade foi regularmente mantida pelo operador e encontra-se em muito bom estado de conservação.

Antes da entrega, efetuaremos a manutenção de todas as bombas de vácuo e turbobombas instaladas (substituição de rolamentos).

Mediante solicitação, pode ser adicionada uma montagem e comissionamento no local.

Se tiver interesse na unidade, teremos todo o prazer em responder a quaisquer outras perguntas que possa ter.

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