Módulo de Front-End de Wafer 300mmBROOKS ASYST
Spartan EFEM Sorter
Dados da máquina
- Descrição da máquina:
- Módulo de Front-End de Wafer 300mm
- Fabricante:
- BROOKS ASYST
- Modelo:
- Spartan EFEM Sorter
- Ano do fabrico:
- 2010
- Condição:
- usado
Preço e localização
- Localização:
- Heilbronner Str. 22, 01189 Dresden, Deutschland
Detalhes da oferta
- ID do anúncio:
- A20798077
- Nº de referência:
- LW43278
- Última atualização:
- em 19.12.2025
Descrição
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Modelo: ASYST Spartan EFEM
Tipo: Sorter
Estado: Usado
Especificações técnicas:
100-240V AC
50/60Hz
10A
Informações gerais:
EFEM de 300 mm com 3 portas de carga, mini ambiente limpo e robô integrado para transferência de wafers.
Este equipamento é um Módulo Front-End (EFEM) da série ASYST Spartan, desenvolvido para o manuseio totalmente automatizado de wafers de silício de 300 mm na fabricação de semicondutores.
Possui três portas de carga, mini ambiente com filtros ULPA, iluminação interna, controles de segurança abrangentes e todas as interfaces necessárias para integração em linhas de produção.
Além disso, conta com robô integrado para transferência de wafers, que retira os wafers das portas de carga FOUP/cassete, separa-os e os transfere com precisão para os módulos de processo subsequentes.
Ano de fabricação: 27.12.2010
Inclui CD com manuais de operação, serviço e instalação (9701-3060-01 Rev G)
O anúncio foi traduzido automaticamente e alguns erros de tradução podem ocurrer.
Fornecedor
Registado desde: 2014
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