Bomba de vácuo seco

ULVAC Model LR600

Aqui nós oferecemos uma bomba de vácuo seca ULVAC.
Bomba de vácuo seca ULVAC
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Solução para bombas de processo áspero
Bomba de vácuo seca
Abordagem única do ULVAC ao uso de calor latente no
o corpo da bomba permite a série de LR/HR/UR,
desempenho, mesmo nos processos mais rigorosos.
A ULVAC continuou seus esforços de projeto para manter
extremamente uniforme de alta temperatura sobre todos os estágios da bomba.
e esta família da bomba é aperfeiçoada para aplicações do CVD e da gravura.
Compatível com o sistema ECO-SHOCK da ULVAC para poupança de energia adicional
Propriedades
A bomba da LR-série é projetada carregando câmaras de válvula e processos de PVD.
O projeto de alumínio original de ULVAC permite a distribuição muito uniforme da temperatura durante todo o corpo da bomba:
A bomba de ULVAC LR-Series é projetada para as aplicações que exigem uma bomba aquecida, linhas de gás heated e/ou tubulações de exaustão aquecidas
Excelente capacidade de bombeamento de hélio
Motor de conserva para a segurança e a facilidade da manutenção
Resiste a interrupções de energia de até 500 ms.
Os componentes internos são especialmente tratados para garantir um alto nível de dureza superficial e excelente resistência à corrosão.
Isto impede o desgaste de peças internas da bomba quando estes gases corrosivos são expostos.
(Série LR)
Projetado para gases de processo que produzem subprodutos pulverizados, tais como fornos de crescimento de cristal si
Pré-bomba para
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