08 Estação Maseveon + Unidade de Desgaseificação LC

Masevon Station Chamber Up-Down + + LC Degassing Unit

1. Introdução:
1. Este documento descreve os requisitos funcionais relativos a;
1.1. Câmara de desgaseificação de bandeja LC
1.2. A câmara de desgaseificação da bandeja LC é uma (câmara de vácuo controlada) na qual
uma bandeja de alumínio contendo líquido LC é desgaseificada em vácuo
ambiente durante um período de tempo (ou seja, o ar aprisionado é evacuado)
Perfil de vácuo;
1.1. Pontos de ajuste de pressão ajustáveis entre 1,103 e 1,10-3 mBar
1.1.1. Faixa de medição: 1,103 – 5,10-4
1.2. Pontos de ajuste de tempo ajustáveis entre 1 e 600 min por etapa
1.2.1. A etapa de desgaseificação (D) pode levar de minutos a dias
1.3. As taxas de evacuação e ventilação devem ser controláveis
1.4. O ciclo de evacuação (A – D) é realizado automaticamente
1.4.1. O degrau de ventilação (E) deve ser acionado manualmente (operador)
1.5. Perfil típico de desgaseificação
2. Interior;
2.1. Câmara de processo polida em aço inoxidável (alumínio) (interna)
2.1.1. Taxa de vazamento a ser discutida
2.2. Gaveta de adaptação da bandeja LC para (des)carregar facilmente a bandeja LC (sem choque/agitação)
movimento permitido), consulte a Seção 2 Dimensões da bandeja LC e apêndice 1
2.3. A bandeja de LC deve estar nivelada (água) o tempo todo para evitar derramamento de LC
2.4. A câmara deve ser de fácil/rápido acesso para limpeza e/ou bandeja LC
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(des)carregando
2.5. O interior da câmara deve ser polido para facilitar a limpeza e evitar
contaminação e/ou coleta de umidade
2.6.Possibilidade de monitoramento (janela) do ciclo de desgaseificação, ou seja, monitoramento de LC
comportamento da superfície do líquido na bandeja LC
2.7. Nenhuma contaminação do processo causada pelo material da câmara (-fabricação)

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