Pulverização roll-to-roll

Bobst Group SA Roll-To-Roll Sputtering

Sistema de pulverização catódica GVE/Optilab: Sistema roll-to-roll para deposição de camadas ultrafinas (na faixa nanométrica). O sistema pode depositar diferentes materiais (metais, camadas condutoras transparentes) no material do filme. Ele é equipado com vários cátodos de pulverização catódica, ou seja, várias camadas finas podem ser depositadas simultaneamente.

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GVE, Bobst Ltd, Optilab, 2010, Ferramenta de pulverização catódica rolo a rolo a vácuo com 3 câmaras de deposição para 2 cátodos cada; Completo com: - Largura de banda de 520 mm, enrolamento bidirecional com recurso de intercalação e desintercalação. Bombeamento turbo molecular (mag lev) em todas as zonas. Resfriador de tambor, unidade de reaquecimento (-20 a +200 graus C). Unidade de polifrio 1100 com bobinas criogênicas em cada zona de pulverização catódica, bem como na zona de enrolamento. Uma unidade de plasma de média frequência GVE AC. Um sistema de monitoramento de resistência pós-revestimento. (Medindo a resistência na linha central da banda). Um sistema de tela sensível ao toque Siemens WIN CC para controlar o M/C e o sistema de monitoramento. Zona de aquecimento I/R (3 unidades de aquecimento). Sistema de polarização da Web (PSU etc.). 1 geração mag c/c 2 x 20 kw pulsado dc. 1 carregador duplo c/2 x 10 kw pulsado dc (c/ânodo oculto). MFCs etc. 1 x sistema de controle de pulverização catódica PEM totalmente integrado. Preço original Euro 1.450.000.-

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